迈为股份取得曝光机及太阳能电池加工设备专利，该产品良率显著提高

 

专利摘要显示，本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种曝光机及太阳能电池加工设备。该曝光机包括光源、制冷模块和掩膜板，其中，光源架设在掩膜板上方，制冷模块包括保温腔室，保温腔室设置在光源与掩膜板之间，光源用于发射激光，激光依次经过保温腔室和掩膜板后照射在硅片上。通过制冷模块的设置使得掩膜板的图形区域和非图形区域的温度明显降低，使得掩膜板的温度和曝光机内部设备机架的温度保持恒定，避免由于热量集中导致掩膜板发生形变、设备机架发生涨缩的问题，提高该曝光机的产品良率，达到节约成本的目的。