第三种按照从所应用的材料观点出发可将传感器分成下列几类:
①按照其所用材料的类别分: 金属、聚合物、陶瓷、混合物传感器。
②按材料的物理性质分: 导体、绝缘体、半导体、磁性材料传感器。
③按材料的晶体结构分: 单晶、多晶、非晶材料传感器。
第四种按照其制造工艺, 可以将传感器区分为集成、薄膜、厚膜和陶瓷传感器。
①集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
②薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板〉上的相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时, 同样可将部分电路制造在此基板上。
③厚膜传感器是利用相应材料的浆料涂覆在陶瓷基片上制成的, 基片通常是Ah03 制成的, 然后进行热处理, 使厚膜成形。
④陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶一凝胶等〉生产。